我的账户
上杭信息港

自媒体资讯干货

亲爱的游客,欢迎!

已有账号,请

立即登录

如尚未注册?

加入我们
  • 客服电话
    点击联系客服

    在线时间:8:00-16:00

    客服电话

    400-000-0000

    电子邮件

    xjubao@163.com
  • APP下载

    上杭信息港APP

    随时随地掌握行业动态

  • 官方微信

    扫描二维码

    关注上杭信息港公众号

上杭信息港 网站首页 资讯列表 资讯内容

溅射离子泵的类型选择

2020-10-21 发布于 上杭信息港
二级型溅射离子泵在排除氩、氪和氙等惰性气体时,经常会出现氩压力循环上升的现象,即真空系统内德压力突然脉冲式的上升然

后又下降,压力变化幅度为10-2Pa数量级。这种现象称为“氩不稳定性”。给出了二级型喷溅离子泵在空气压力为10-3Pa时进行数

百小时或在10-4Pa时进行数千小时排气后所出现的氩不稳定性。为克服这种现象,出现了各种改进型的溅射离子泵的几种改进型结

构:

1)二极型泵结构简单,磁铁的磁隙小,只是启动压力低。如果不是在高压力下启动而且对惰性气体抽速无特殊要求,还是选用这种

泵好。全屋家具定制 企业画册设计 钣金加工厂家 真空泵 大型风机厂家

2)如果要求启动压力高,可以采用三极型结构,或采用其他辅助办法。三极型结构工艺复杂,如果是三电位,电源也复杂。

磁铁的磁隙也大了。

3)如果为了抽除氩、氦,可以采用多孔型阴极。但在钽板上打孔麻烦。从工艺上考虑,可以采用非对称型阴极。要从材料上考虑可

以采用二电位三极型。

4)磁控管型和端子板型都是为了提高对氩的抽速。放电强度、溅射能力都提高了,但工艺上困难较大。

5)几种泵对各种气体抽气

能力相差较大,可按具体情况选用。
1

鲜花
1

握手

雷人

路过

鸡蛋
该文章已有0人参与评论

请发表评论

全部评论

上杭信息港

扫一扫二维码关注我们Get最新资讯

相关分类
热点推荐
关注我们
上杭信息港与您同行

客服电话:400-000-0000

客服邮箱:xjubao@163.com

周一至周五 9:00-18:00

上杭信息港 版权所有

Powered by 上杭信息港 X1.0@ 2015-2020